En el campo de vanguardia de la fabricación de semiconductores, cualquier pequeño cambio en el entorno de producción puede tener un impacto decisivo en la calidad del producto.Como fabricante profesional con años de experiencia en la industria de equipos de purificación, Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. entiende profundamente la posición central del control de la diferencia de presión del flujo de aire en las salas limpias de semiconductores.Analizaremos de manera exhaustiva las soluciones de control de la diferencia de presión del flujo de aire para salas limpias de semiconductores, ayudándole a crear un entorno de producción estable y eficiente.
Control de la diferencia de presión del flujo de aire: la línea de defensa clave en la producción de semiconductores
Resistiendo la invasión de los contaminantes
El proceso de fabricación de los chips de semiconductores es extremadamente delicado.pueden causar problemas graves como cortocircuitos y circuitos abiertos en los chips.Tomemos el proceso de litografía de chips avanzados como ejemplo. El ancho de línea en los chips ha alcanzado el nivel de nanómetro. Una partícula de polvo con un diámetro de solo 0.1 micrómetro es suficiente para causar desviaciones en el patrón de litografíaAl construir razonablemente la diferencia de presión del flujo de aire y mantener la sala limpia en un estado de presión positiva, los contaminantes externos se pueden bloquear eficazmente.construcción de una barrera protectora invisible para la producción de chips.
Asegurar el funcionamiento estable del proceso
La fabricación de semiconductores abarca una variedad de procesos complejos como la litografía, el grabado y el dopado.y la limpiezaUna diferencia de presión estable del flujo de aire puede garantizar que los parámetros ambientales de cada área se mantengan siempre dentro del rango requerido por el proceso.proporcionando una garantía sólida para el buen desarrollo del procesoEn el proceso de grabado, si el flujo de aire es inestable, la distribución del gas de grabado será desigual.que conduce a tasas de grabado inconsistentes y afecta seriamente la precisión de grabado y la calidad del producto de las virutas.
Soluciones de control preciso de la diferencia de presión del flujo de aire para crear un espacio de producción puro
División científica del área y ajuste preciso de la diferencia de presión
- Área de producción principal: En esta zona se realizan procesos clave como la litografía, el grabado y el dopado, donde los requisitos de limpieza y presión positiva son extremadamente elevados.Se recomienda que la presión en la zona de producción principal sea de 15 a 25 Pa superior a la de las zonas auxiliares adyacentes., minimizando así el riesgo de invasión de contaminantes externos y garantizando que el proceso de fabricación de los chips no se vea perturbado por la contaminación.
- Área de producción auxiliar: Áreas auxiliares como el área de almacenamiento temporal de materiales y el área de mantenimiento de equipos, aunque los requisitos de limpieza son ligeramente inferiores a los de la zona de producción principal,todavía necesitan mantener una cierta presión positivaPor lo general,es de 5 a 10 Pa superior a las zonas como los corredores ordinarios para evitar que los contaminantes de los corredores entren en la zona auxiliar y pongan en peligro el medio ambiente de la zona de producción principal..
- Pasajes de personal y material: Para los pasajes donde el personal y los materiales entran y salen del taller, se debe ajustar cuidadosamente un gradiente de diferencia de presión razonable para formar un efecto de bloqueo de aire eficaz.Al entrar en el área limpia desde la zona no limpia, la presión aumenta gradualmente con cada puerta que pasa, actuando como capas de puntos de control, bloqueando efectivamente la entrada de contaminantes a la sala limpia junto con el personal y los materiales.
Selección de equipos avanzados para lograr un control preciso
- Sensores de presión de alta precisión: Los sensores de presión de alta precisión desarrollados independientemente por Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. tienen un excelente rendimiento.que puede capturar con precisión los cambios de presión en cada área del taller en tiempo real, garantizando que las fluctuaciones de presión anormales se detectan inmediatamente y proporcionando una base sólida para tomar contramedidas oportunas.
- Sistema inteligente de control de la ventilación: Este sistema está estrechamente ligado a sensores de presión de alta precisión, y según los valores de diferencia de presión preestablecidos, puede ajustar automática y precisamente la velocidad del ventilador y la apertura de la válvula.lograr un control inteligente y refinado del flujo de aireUna vez que detecta que la presión en un área determinada es inferior al valor establecido, el sistema reaccionará rápidamente.aumentando automáticamente el volumen de suministro de aire o reduciendo el volumen de escape de aire para restablecer rápidamente la presión al nivel normal.
Mantenimiento y gestión integrales para proteger continuamente la estabilidad de la diferencia de presión
Calibración y mantenimiento regulares para garantizar el rendimiento del equipo
Calibrar estrictamente los sensores de presión cada seis meses para garantizar la exactitud y fiabilidad de los datos de medición.realizar una inspección exhaustiva del equipo de ventilación con regularidad., comprobar cuidadosamente si las ruedas del ventilador están desgastadas, si las válvulas pueden abrirse y cerrarse normalmente, etc.,y reemplazar los componentes viejos o dañados de manera oportuna para garantizar que el equipo esté siempre en las mejores condiciones de funcionamiento.
Realización de formación profesional para mejorar las capacidades del personal
Realizar una formación sistemática del personal del taller sobre los conocimientos de control de la diferencia de presión del flujo de aire.permitirles comprender profundamente la importancia del control de la diferencia de presión y los métodos de manejo de situaciones anormalesCuando se produce una alarma de diferencia de presión, el personal puede analizar rápidamente las posibles causas, tales como fallos en el equipo y fugas en las tuberías.y tomar medidas eficaces de forma oportuna para garantizar la continuidad y estabilidad de la producción en el taller.
Análisis profundo de datos y optimización continua de las soluciones
Construir un sistema profesional de monitoreo de datos de diferencia de presión del flujo de aire y llevar a cabo un análisis en profundidad de los datos de presión acumulados a largo plazo.Los problemas potenciales pueden ser detectados con precisiónPor ejemplo, si la presión en algunas zonas fluctúa con frecuencia, puede deberse a fallos en el equipo o a una distribución de aire irrazonable.y luego se pueden hacer ajustes de optimización dirigidos para mejorar continuamente las soluciones de control de la diferencia de presión del flujo de aire.
Con una profunda acumulación técnica y una rica experiencia en proyectos, Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. can not only provide high - quality purification equipment but also customize a full - range of airflow pressure difference control solutions and complete post - maintenance services for your semiconductor cleanroomSi usted está planeando construir una sala limpia de semiconductores o encontrar problemas relacionados durante el funcionamiento de un taller existente, por favor no dude en ponerse en contacto con nosotros.Trabajemos juntos para crear un medio ambiente limpio de producción de semiconductores líder en la industria y contribuir al desarrollo de la industria de semiconductores.