Último caso de la empresa sobre Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. Certificaciones

En el campo de vanguardia de la fabricación de semiconductores, cualquier ligero cambio en el entorno de producción puede tener un impacto decisivo en la calidad del producto. Como fabricante profesional con años de experiencia en profundidad en la industria de equipos de purificación, Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. comprende profundamente la posición central del control de la diferencia de presión del flujo de aire en las salas blancas para semiconductores. Hoy, analizaremos exhaustivamente las soluciones de control de la diferencia de presión del flujo de aire para salas blancas de semiconductores, ayudándole a crear un entorno de producción estable y eficiente.

El proceso de fabricación de chips semiconductores es extremadamente delicado. Una vez que se mezclan contaminantes como partículas de polvo y microorganismos, pueden causar problemas graves como cortocircuitos y circuitos abiertos en los chips. Tomemos como ejemplo el proceso de litografía de chips de proceso avanzado. El ancho de línea en los chips ha alcanzado el nivel de nanómetros. Una partícula de polvo con un diámetro de solo 0,1 micrómetros es suficiente para causar desviaciones en el patrón de litografía, lo que resulta en el desecho del chip. Al construir razonablemente la diferencia de presión del flujo de aire y mantener la sala blanca en un estado de presión positiva, los contaminantes externos pueden ser bloqueados eficazmente, construyendo una barrera protectora invisible para la producción de chips.

La fabricación de semiconductores abarca una variedad de procesos complejos como la litografía, el grabado y el dopaje. Cada proceso tiene diferentes requisitos de temperatura, humedad y limpieza ambiental. Una diferencia de presión de flujo de aire estable puede garantizar que los parámetros ambientales de cada área se mantengan siempre dentro del rango requerido por el proceso, proporcionando una garantía sólida para el buen progreso del proceso. En el proceso de grabado, si el flujo de aire es inestable, la distribución del gas de grabado será desigual, lo que conducirá a tasas de grabado inconsistentes y afectará seriamente la precisión del grabado y la calidad del producto de los chips.

• Área de producción principal: Los procesos clave como la litografía, el grabado y el dopaje se llevan a cabo en esta área. Aquí, los requisitos de limpieza y presión positiva son extremadamente altos. Se recomienda que la presión en el área de producción principal sea 15 - 25 Pa más alta que en las áreas auxiliares adyacentes, minimizando así el riesgo de invasión de contaminantes externos y asegurando que el proceso de fabricación de chips no se vea perturbado por la contaminación.
• Área de producción auxiliar: Las áreas auxiliares como el área de almacenamiento temporal de materiales y el área de mantenimiento de equipos, aunque los requisitos de limpieza son ligeramente inferiores a los del área de producción principal, aún necesitan mantener una cierta presión positiva. Generalmente, es 5 - 10 Pa más alta que áreas como los pasillos ordinarios para evitar que los contaminantes en los pasillos entren en el área auxiliar y pongan en peligro el entorno del área de producción principal.
• Pasajes de personal y materiales: Para los pasajes por donde el personal y los materiales entran y salen del taller, se necesita establecer cuidadosamente un gradiente de diferencia de presión razonable para formar un efecto de esclusa de aire eficaz. Al entrar en el área limpia desde el área no limpia, la presión aumenta gradualmente con cada puerta que se pasa, actuando como capas de puntos de control, bloqueando eficazmente la entrada de contaminantes en la sala blanca junto con el personal y los materiales.

• Sensores de presión de alta precisión: Los sensores de presión de alta precisión desarrollados independientemente por Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. tienen un rendimiento excelente. Su precisión de medición puede alcanzar ±0.1 Pa, lo que puede capturar con precisión los cambios de presión en cada área del taller en tiempo real, asegurando que las fluctuaciones de presión anormales se detecten inmediatamente y proporcionando una base sólida para tomar contramedidas oportunas.
• Sistema de control de ventilación inteligente: Este sistema está estrechamente vinculado a los sensores de presión de alta precisión. De acuerdo con los valores preestablecidos de diferencia de presión, puede ajustar automática y precisamente la velocidad del ventilador y la apertura de la válvula, logrando un control inteligente y refinado del flujo de aire. Una vez que detecta que la presión en un área determinada es inferior al valor establecido, el sistema reaccionará rápidamente, aumentando automáticamente el volumen de suministro de aire o reduciendo el volumen de escape de aire para restaurar rápidamente la presión al nivel normal.

Calibre los sensores de presión estrictamente cada seis meses para garantizar la precisión y fiabilidad de los datos de medición. Al mismo tiempo, realice una inspección exhaustiva del equipo de ventilación regularmente, compruebe cuidadosamente si los impulsores del ventilador están desgastados, si las válvulas pueden abrirse y cerrarse normalmente, etc., y reemplace los componentes envejecidos o dañados de manera oportuna para garantizar que el equipo esté siempre en las mejores condiciones de funcionamiento.

Lleve a cabo una formación sistemática sobre el conocimiento del control de la diferencia de presión del flujo de aire para el personal del taller, permitiéndoles comprender profundamente la importancia del control de la diferencia de presión y los métodos de manejo de situaciones anormales. Cuando se produce una alarma de diferencia de presión, el personal puede analizar rápidamente las posibles causas, como fallos en los equipos y fugas en las tuberías, y tomar contramedidas eficaces de manera oportuna para garantizar la continuidad y la estabilidad de la producción del taller.

Construya un sistema profesional de monitorización de datos de diferencia de presión del flujo de aire y realice un análisis en profundidad de los datos de presión acumulados a largo plazo. A través del análisis de datos, se pueden detectar con agudeza los problemas potenciales. Por ejemplo, si la presión en algunas áreas fluctúa con frecuencia, puede deberse a fallos en los equipos o a una distribución de aire irrazonable, y luego se pueden realizar ajustes de optimización específicos para mejorar continuamente las soluciones de control de la diferencia de presión del flujo de aire.

Con una profunda acumulación técnica y una rica experiencia en proyectos, Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. no solo puede proporcionar equipos de purificación de alta calidad, sino también personalizar una gama completa de soluciones de control de la diferencia de presión del flujo de aire y servicios completos de post-mantenimiento para su sala blanca de semiconductores. Si está planeando construir una sala blanca de semiconductores o encuentra problemas relacionados durante el funcionamiento de un taller existente, no dude en ponerse en contacto con nosotros. Trabajemos juntos para crear un entorno de producción limpia de semiconductores líder en la industria y contribuir al desarrollo de la industria de los semiconductores.