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Construcción de salas limpias libres de polvo para semiconductores de óxido de galio azul profundo

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Construcción de salas limpias libres de polvo para semiconductores de óxido de galio azul profundo

December 4, 2024
último caso de la compañía sobre Construcción de salas limpias libres de polvo para semiconductores de óxido de galio azul profundo

En el campo de los semiconductores, una revolución tecnológica impulsada por nuevos materiales está avanzando.ha abierto nuevos caminos para la investigación y el desarrollo de dispositivos semiconductores de alto rendimiento con sus excelentes propiedadesSin embargo, para transformarlo de los logros de laboratorio en producción industrial a gran escala, una sala limpia libre de polvo que se adapte a sus características es esencial.., Ltd. , que ha estado muy involucrada en la industria de la depuración durante muchos años,Le llevará a comprender de manera integral los puntos clave en la construcción de salas limpias libres de polvo para semiconductores de óxido de galio azul profundo hoy.

I. Control estricto de los niveles de purificación

 

El proceso de producción de semiconductores de óxido de galio de color azul oscuro es extremadamente sensible a impurezas como el polvo y los microorganismos.y grabado, incluso partículas diminutas "mezcladas" pueden causar cortocircuitos en los chips, degradación del rendimiento y una reducción significativa en la tasa de rendimiento.el nivel de purificación del taller normalmente debe alcanzar los estándares de clase 10 o incluso más altosEsto significa que el número de partículas de polvo con un tamaño de partícula superior a 0,5 micrómetros por metro cúbico de aire se controla estrictamente dentro de los 10.Guangzhou Kunling adopta las tecnologías de filtración de aire líderes a nivel internacionalDesde la filtración primaria para interceptar partículas grandes de polvo, hasta la filtración de mediana eficiencia para capturar impurezas de tamaño mediano.y luego a través de filtros de aire de partículas de alta eficiencia (HEPA) y filtros de aire de penetración ultrabaja (ULPA) para el "cribado" capa por capa, garantiza que el aire que entra en el taller esté casi libre de impurezas, sentando una base pura para la producción de precisión.

II. Control preciso de la temperatura y la humedad

 

Las propiedades eléctricas y la estabilidad de la estructura cristalina de los materiales semiconductores de óxido de galio varían significativamente en diferentes ambientes de temperatura y humedad.El rango de temperatura adecuado se fija generalmente entre 22 °C y 25 °CEl taller está equipado con un sistema inteligente de control de temperatura y humedad.A través de sensores de alta precisión que monitorean los datos ambientales en tiempo real, se conecta con los acondicionadores de aire, humidificadores y deshumidificadores para responder y ajustar rápidamente.el módulo de refrigeración funciona de manera eficiente para enfriarseCuando es seco en invierno, el equipo de humidificación rocía con precisión para aumentar la humedad.crear un "microclima" de temperatura y humedad constantes para mantener los materiales y equipos de óxido de galio en las mejores condiciones de trabajo y reducir el riesgo de desviaciones del proceso.

III. Medidas antiestáticas meticulosas

 

En el procesamiento de semiconductores, la electricidad estática es un "asesino oculto".y el fenómeno de descarga causada por la electricidad estática puede romper fácilmente los transistores y dañar los chipsLos materiales del suelo están hechos de PVC antistatico o de suelo epoxi autonivelable.con la resistencia superficial estrictamente controlada dentro del rango de 10^6 - 10^9 ohmios para disipar rápidamente la electricidad estáticaLos equipos y los bancos de trabajo están equipados con eliminadores estáticos y los ventiladores iónicos soplan continuamente iones positivos y negativos para neutralizar las cargas.Los operarios usan ropa de trabajo antistática y cubiertas de zapatos, estar plenamente "armados" para eliminar los peligros ocultos de la acumulación y descarga de electricidad estática de la fuente y proteger la integridad de los productos.

IV. Planificación científica de la ventilación y la organización del flujo de aire

 

Una buena ventilación en el taller puede no sólo garantizar el aire fresco, sino también ayudar a los gases de escape del proceso de escape y disipar el calor para la refrigeración.se adopta una combinación de formas de distribución de aire de flujo unidireccional y de flujo turbulentoEn el área de litografía, el flujo vertical unidireccional con una velocidad de flujo estable (0,3 - 0,5 metros por segundo) transporta el polvo con precisión; en áreas como el almacenamiento y el montaje de materiales, el flujo vertical unidireccional con una velocidad de flujo estable (0,3 - 0,5 metros por segundo) transporta el polvo con precisión.La ventilación de flujo turbulento está configurada para reemplazar eficientemente el aire.Los materiales para los conductos de ventilación se seleccionan teniendo en cuenta la prevención de incendios, la prevención de óxido y las bajas tasas de fuga de aire. Fans are accurately selected according to the scale of the workshop and the frequency of air changes to ensure that the air volume and air pressure are suitable and maintain the orderly flow of air and dilute the concentration of harmful substances.

V. Diseño adecuado de los equipos de proceso

 

El proceso de preparación del óxido de galio azul profundo es complejo y las máquinas de litografía, máquinas de grabado, equipos de deposición de vapor químico, etc. varían en tamaño, peso,y tienen requisitos especiales para la vibración durante el funcionamiento y la disipación de calorEl diseño del taller se basa en el principio de "flujo fluido del proceso y no interferencia entre equipos".y el equipo pesado se coloca en áreas con buena carga y excelente absorción de golpesSe reservan canales de disipación de calor y se instalan dispositivos de enfriamiento de acuerdo con las curvas de disipación de calor del equipo.Los intervalos entre equipos adyacentes son razonables para facilitar el mantenimiento, operación y depuración, lo que permite una conexión eficiente de los equipos y una producción estable de productos semiconductores de alta calidad.

VI. Mejora de la gestión y formación del personal

 

Las personas son un factor clave en el funcionamiento del taller, pero también son una fuente potencial de contaminación.El personal que ingrese a la sala limpia libre de polvo para el óxido de galio azul oscuro debe pasar por un proceso de vendaje estricto, desde la eliminación de polvo en la ducha de aire hasta el uso de ropa de protección estéril, máscaras y guantes, capa por capa para la limpieza.La formación profesional se lleva a cabo con regularidad para reforzar el conocimiento de los empleados de los procesos de semiconductores, normas de funcionamiento en salas limpias y capacidad de respuesta a emergencias.Los nuevos empleados reciben orientación práctica de colegas experimentados para dominar los detalles del manejo de materiales y el funcionamiento de los equipos, reduciendo la probabilidad de contaminación del producto y daños causados por errores humanos.

 

Participar en la construcción de salas limpias libres de polvo para semiconductores de óxido de galio de color azul oscuro es tanto un desafío como una oportunidad. , Ltd. confía en su rica experiencia en proyectos, equipo técnico profesional y productos de purificación de alta calidad para personalizar soluciones de una sola parada durante todo el proceso.Construcción hasta su posterior operación y mantenimiento, haremos esfuerzos precisos para ayudar a las empresas a aprovechar el terreno superior en la industria de óxido de galio azul profundo.Si usted está planeando un proyecto de tal taller o tiene preguntas acerca de los detalles de construcciónSiéntase libre de contactarnos inmediatamente y trabajemos juntos para crear un nuevo modelo de fabricación de semiconductores limpios.

 

Contacto
Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd.

Persona de Contacto: Ms. Sophie

Teléfono: +8613316272505

Fax: 86-20-84557249

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