En la era del rápido desarrollo tecnológico, los chips cuánticos, como componentes centrales en el campo de la tecnología de vanguardia, tienen requisitos extremadamente estrictos para el entorno de fabricación.Guangzhou Cleanroom Construction Co.., Ltd., un fabricante profesional de equipos de purificación con años de experiencia en la industria, revelará el proceso de construcción de salas limpias para la fabricación de chips cuánticos hoy.
1. Planificación previa al proyecto y análisis de las necesidades
El primer paso en la construcción de una sala limpia para los chips cuánticos es de gran importancia.De la litografía en chip, el grabado, la deposición en el embalaje y otros procesos, las diferentes etapas tienen diferentes requisitos para los parámetros ambientales tales como temperatura, humedad, número de partículas de polvo,y control electrostático- Comunicarse estrechamente con las empresas de fabricación de chips. Basándose en su escala de producción y rutas técnicas, determinar con precisión el área y la disposición del taller,y planificar las direcciones de flujo del personal, materiales y productos para garantizar que los tres flujos no interfieran entre sí y eviten la contaminación cruzada, sentando una base sólida para una producción eficiente en el futuro.
2Determinación del nivel de purificación
La fabricación de chips cuánticos generalmente requiere un nivel de purificación extremadamente alto, comúnmente de clase ISO 3 o incluso superior.1 micrómetro por metro cúbico de aire debe ser estrictamente controlado a números de un solo dígitoDe acuerdo con la precisión del proceso de fabricación del chip, determinar los niveles de purificación de diferentes áreas como el área de litografía y el área de prueba ultra limpia,para configurar el equipo de purificación dirigido, asegurando que el chip no se ve perturbado por impurezas de polvo a nivel micro y garantizando la tasa de rendimiento del chip.
3Diseño de estructuras arquitectónicas
La estructura arquitectónica del taller debe adaptarse a los requisitos de purificación. Las paredes, pisos y techos deben estar hechos de material hermético, liso, fácil de limpiar,y materiales antiestáticosLas placas de acero recubiertas de color se pueden seleccionar para las paredes, con juntas sin costuras; se puede utilizar auto-nivelación epoxi para el suelo, que es resistente al desgaste, resistente a la corrosión y anti-estático.;el techo está diseñado para ser accesible para las personas, lo que es conveniente para el mantenimiento posterior del equipo.Los filtros de aire de partículas de alta eficiencia (HEPA) y los filtros de aire de ultrabaja penetración (ULPA) se instalan para garantizar un suministro uniforme de aire y efectos de purificación estables y duraderos..
4Selección e instalación del sistema de purificación del aire
Este es el enlace central, que consiste en unidades de aire acondicionado, conductos de suministro y retorno de aire, filtros, etc. La unidad de aire acondicionado debe tener múltiples funciones como refrigeración, calefacción,humidificación, deshumidificación y filtración de aire, regulación precisa de la temperatura y la humedad con un rango de error muy pequeño.Los conductos de aire de suministro y de retorno se planifican razonablemente de acuerdo con la disposición del taller., y hojas de acero galvanizadas de alta calidad se utilizan para garantizar la estanqueidad del aire y evitar que la fuga de aire cause fallas de purificación.El filtro primario elimina el polvo de partículas grandes, el filtro de eficiencia media purifica aún más el aire,y los filtros de alta eficiencia y ultra alta eficiencia proporcionan un aire casi estéril y libre de polvo ultra limpio para el área de fabricación de chips.
5Control electrostático y de micro vibraciones
Los chips cuánticos son extremadamente sensibles a la electricidad estática. Una pequeña descarga electrostática puede dañar el chip. Professional electrostatic elimination equipment such as ion fans and electrostatic grounding systems are equipped in the workshop to ensure that the electrostatic potential is within the safe thresholdAl mismo tiempo, teniendo en cuenta las micro vibraciones generadas por el funcionamiento de los equipos y el movimiento del personal, se adoptan diseños absorbentes de choques desde la base del edificio, and shock - absorbing pads are also equipped for equipment installation to prevent the micro - vibrations from being transmitted and affecting the accuracy of precision processes such as chip lithography.
6Apoyo a los sistemas de agua, electricidad y gas
Un suministro estable y fiable de agua, electricidad y gas es la garantía para el funcionamiento del taller.satisfacer las necesidades de procesos como la limpieza y el grabado, y la calidad del agua alcanza el estándar de agua ultrapura de grado electrónico.con un sistema de alimentación ininterrumpido (UPS) para hacer frente a cortes repentinos de energía y garantizar el funcionamiento continuo de los equipos claveEl sistema de gas distribuye con precisión gases especiales como el nitrógeno y el argón. Las tuberías están estrictamente selladas y purgadas para evitar que la contaminación del gas afecte la calidad del chip.
7Instalación y puesta en marcha de equipos
Los equipos de purificación y los equipos de producción se instalan en secuencia, y deben instalarse de acuerdo con las especificaciones de instalación para garantizar que el equipo esté nivelado, estable y esté a la altura de la superficie.,y estrechamente conectados. Después de la instalación, se realiza la puesta en marcha conjunta. Simula las condiciones de producción, prueba exhaustiva del efecto de purificación, control de temperatura y humedad,y el bloqueo del equipo, y ajustar repetidamente los parámetros hasta que todos los indicadores cumplan con los requisitos de diseño, creando un entorno de fabricación perfecto para la producción formal de chips cuánticos.
Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd., con su equipo profesional y tecnología avanzada, controla cada detalle del proceso de construcción de salas limpias para chips cuánticos,ayudar a las empresas de tecnología cuántica a alcanzar un nivel superior y emprender un nuevo viaje de producción en masa de chips cuánticosSi usted tiene requisitos para la construcción de salas limpias, por favor no dude en contactarnos.