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Último caso de la empresa sobre Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. Certificaciones

¿Qué es una sala limpia de semiconductores?

2025-05-28

Último caso de la empresa sobre ¿Qué es una sala limpia de semiconductores?

A. NoSala limpia de semiconductoreses un entorno altamente controlado diseñado para minimizar la contaminación durante la fabricación de microchips, circuitos integrados (CI) y otros componentes electrónicos.Porque incluso las partículas microscópicas pueden causar defectos o pérdida de rendimiento, las salas limpias son indispensables para la fabricación de semiconductores de alta precisión.

Características clave de las salas limpias de semiconductores
  • Concentración de partículas muy baja(clase ISO 1 ̊9)

  • Control preciso de temperatura y humedad(hasta ± 0,1 °C)

  • Sistemas avanzados de filtración de aire(filtros HEPA y ULPA)

  • Protección contra descargas electrostáticas (ESD)

Estas instalaciones cumplen con las normas internacionales tales como:Se aplican los siguientes requisitos:para la clasificación de las salas limpias ySe trata de un sistema de control de las emisiones de gases de escape.para la seguridad y la ergonomía del equipo.

Normas de clasificación de las salas limpias
ISO 14644-1 Clasificaciones de las salas limpias

La fabricación de semiconductores suele requerirClasificación ISO 1 ̊5los entornos, en función de la sensibilidad del proceso:

Clasificación ISO Las partículas máximas (≥ 0,1 μm/m3) Aplicación típica
ISO 1 10 Litografía avanzada de EUV
ISO 3 1,000 Fabricación de obleas NAND 3D
ISO 5 y otras normas 100,000 Procesos de semiconductores heredados
Normas específicas de la industria
  • Normas SEMI: Definir la compatibilidad del equipo y la fiabilidad operativa (por ejemplo,Sección F47para la inmunidad a la caída de voltaje).

  • Estándar federal 209E (herencia): Antiguo estándar de salas limpias de EE.UU., ahora reemplazado por la norma ISO 14644.

Características críticas del diseño de las salas limpias
Control del flujo de aire
  • Flujo de aire unidireccional (laminario): patrones de flujo de aire verticales u horizontales que alejan continuamente las partículas de las zonas críticas del proceso.

  • Sistemas de recirculación de alta eficiencia: Por lo general, se reutiliza más del 90% del aire mediante filtración HEPA/ULPA en varias etapas.

Protocolos de material y personal

Requisitos para vestirse

  • Clasificación ISO 1°3: Trajes de conejo con máscaras, gafas y guantes

  • Clasificación ISO 5­6: prendas de vestir parciales, tales como capuchas y guantes

Restricciones materiales

  • El uso demateriales sin derramamiento y con baja emisión de gasescomo acero inoxidable, aluminio anodizado y PTFE

  • Evitar los plásticos o tejidos que generan partículas

Vibración y mitigación de las emisiones de EMI
  • Estabilidad del suelo: Construcción aislada de losas con límites de vibración tan bajos como1 ‰ 2 μm, porEl número de unidades de producción será el siguiente:

  • Protección contra interferencias electromagnéticas (EMI): Protege las herramientas sensibles de litografía y metrología del ruido eléctrico externo

Por qué las salas limpias son importantes en la fabricación de semiconductores
Prevención de defectos

Una solaPartículas de 20 μmpuede destruir unEstructura del transistor de 5 nmLas salas limpias reducen significativamente:

  • Pérdida de rendimiento (que puede excederEl 50%en entornos no controlados)

  • Riesgos de contaminación cruzada, como la difusión involuntaria de iones metálicos

Eficiencia de costes y cumplimiento
  • Reducción del tiempo de inactividad: Un entorno más limpio reduce los defectos de las obleas y los ciclos de reelaboración

  • Cumplimiento normativo: admite estándares como:Las demás:para una fabricación electrónica sostenible y responsable

Conclusión

Las salas limpias de semiconductores son:entornos de ingeniería de precisiónEn la actualidad, la mayoría de los sistemas de procesamiento de chips están diseñados para la fabricación de chips.Las normas ISO, SEMI e IEST, las salas limpias permiten la fabricación a escala nanométrica con mínimos defectos y máximo rendimiento.

A medida que las geometrías de los semiconductores continúan reduciéndose, las tecnologías de las salas limpias están evolucionando rápidamente.Monitoreo de partículas basado en IA,controles ambientales inteligentes, ysistemas modulares de salas limpias.

Para los fabricantes de semiconductores, invertir en ingeniería de salas limpias certificadas no es opcional, sino esencial para mantener la innovación, la calidad y la competitividad mundial.